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什么是凈化車間

2020-12-23

什么是凈化車間?


凈化車間是指在一定空間內排除空氣中的顆粒、有害空氣、細菌等污染物,將室內溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度及分布、噪聲振動、照明、靜電控制在規定要求范圍內的專門設計的房間。也就是說,無論外部空調如何變化,其內部都可以具有保持原本要求的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特點。


定義凈化車間。

凈化室的主要功能是控制產品(如硅片等)接觸空氣的潔凈度、溫度和濕度。),使產品能在良好的環境空間中生產制造,這就是所謂的凈化室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要根據空氣中粒徑大于每立方米的顆粒數量來確定。也就是說,所謂無塵不是沒有灰塵,而是控制在一個更小的單元里。的確,這個標準中的塵埃粒子與我們常見的塵埃相比微不足道,但是對于光學結構來說,即使是微小的塵埃也會產生很大的負面影響。因此,無塵生產光學結構是必然要求。


小于0.3微米/立方米的顆粒數控制在3500以下,達到國際無塵A級標準。目前芯片級生產加工的無塵標準對粉塵的要求比A級高,這個高標準主要適用于一些高檔芯片生產。粉塵量在5μm以下,嚴格控制在每立方米1000以內,即工業上常見的1K級。


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